製品 » TGF11

 ご注文
 見積もりを請求(RFQ)
注文コード / 見積もり依頼を見る*
数量
TGF11
30,000 円
12mm径金属円盤にマウント済み
TGF11/NM
30,000 円
マウント無し
入手可能製品: 一部在庫あり 工場取り寄せの場合は通常10営業日でのお届け
表示価格は税抜き価格です
SEM-image-of-a-TGF-grating

TGF11

ラテラルフォースキャリブレーション、スキャナ非線形性評価用グレーティング

製品詳細

シリコンキャリブレーショングレーティングTGFシリーズは、台形状のステップアレイをシリコン基板にエッチングしたものです。ストラクチャの側壁は、単結晶シリコンシリコンの111面に沿って加工してあり、非常に滑らかです。
シリコン基板の(111)面に沿って異方性エッチングで鋭いエッジを持つ四角形穴のアレイを加工してあります。 
側壁と上面の角度は非常に再現性良く加工されています。

  • エッジアングル54.74°
  • 有効範囲　3x3㎜
  • ステップ高さ 　約1 µm (垂直方向のキャリブレーションの目的にはお使いいただけませんのでご注意ください)
  • チップサイズ 5 x 5 x 0.3 mm
TGF11グレーティングは、Z方向のスキャナの非線形性評価にお使いいただけます。
また、平坦面と斜面のカンチレバーの応答を解析することで、ラテラルフォースのキャリブレーションも可能です。
市販のシリコンカンチレバーや最大半径2μmまでのコロイドプローブをキャリブレーションできます。
Loading
nanosensors-logo
nanoworld-logo
budgetsensors-logo
mikromasch-logo
opus-logo
nanotools-logo