ナノインデンテーション・リソグラフィAFMプローブ

サンプルの表面測定に加え、AFMを使用し、サンプル表面のマニピュレーションまたは微細加工も行うことができます。

ナノトライボロジー、ナノファブリケーション、ナノマシニング、ナノインデンテーションによる硬度測定、ナノリソグラフィー、サンプル表面の局所的な粘弾性マッピングなどでは、高負荷での動作を実現するため、極めて硬い探針と高いバネ定数を持つAFMカンチレバーが必要となります。

またAFMカンチレバーの探針が、サンプルまたは表面(酸化物)に貫入する際に探針が破壊(破損)されず、動的測定中でも容易に摩耗しないよう、硬い探針(ダイヤモンド、DLCコーティング、白金シリサイド、窒化物、EBD)である必要があります。

AFMカンチレバーの探針形状と接触力が、測定における接触面積との貫入深さまたは、スクラッチによるナノリソグラフィーの幅を決定づけます。

AFMティップの硬度と形状に加えて、傾きも重要です。

AFMベースで行うナノインデンテーションの欠点は、インデンター(プローブ)のアプローチが垂直ではないことです。 定量的なナノインデンテーションでは、プローブがサンプルに対して垂直に近づく必要がありますが、AFMはカンチレバーの撓みによる高さの変化による光学反射を測定する装置です。そのため、垂直な動きはAFMにとって通常の動作ではありません。

この課題には、ティップが傾斜補正されたAFMプローブを使用することで克服できます。

AFM探針が細ければ細いほど深く貫入することができますが、探針の鋭さが使用中変わらず鋭いままではないため、測定は実際の表面形状とAFM探針の形状の重ね合わせになります。

ナノインデンテーション測定に使用するAFM探針の半径の定義を単純化する一般的なアプローチは、先端が丸みを帯びた探針を選択することです。定量的な結果を得ることができ、トライボロジー測定も可能です。

先端が丸い探針では、カンチレバーの機械的な挙動の解析が容易です。同様に容易に特徴付けることができます。

AFM探針形状やそれによるAFMカンチレバーの挙動を考慮することで、ヘルツモデルに従って圧入をモデル化し、ナノインデンテーション測定のデータ分析を可能にします。

これらの目的には、酸化シリコンAFM探針、EBD球状やコロイドAFMプローブのご使用をお勧めします。

また生体サンプルの局所的な表面粘弾測定、摩擦測定には、探針形状は同じでも、ばね定数がより柔らかなAFMカンチレバーをご使用ください。

AFM探針が導電性の場合は、抵抗測定(SSRM)を同時に測定したり、ナノ酸化により表面加工を行うこともできます。

柔らかく先端が鋭い探針と、柔らかなカンチレバーは、ポリマー単分子層上でのナノグラフトの機械的誘導、または、自己組織化単分子膜(SAM)上での表面重合(SIP)や可逆性のナノリソグラフィーに使用いただけます。

AFMによるマイクロスケールのスクラッチやマイクロスケールの摩擦試験のアプリケーション、例えば極端な高低差がある試料の測定を行うには、特殊なAFMプローブである、ExtraTall(特別背の高い)探針を持ったプローブ (NanoSensors™ 特別開発品リスト または SDLに記載) が使用できます。このAFM探針は、通常のAFM探針が15 µmであるのに対し、最大60 µmの高さがある探針を備えています。

61 製品が要求仕様にマッチしました
最高品質
DT-NCHR

DT-NCHR

ダイヤモンドコート タッピングモードAFMプローブ
コーティング: ダイヤモンド
AFMティップ形状: 標準
AFM カンチレバー
F
400 kHz
C
80 N/m
L
125 µm
DT-FMR

DT-FMR

ダイヤモンドコート フォースモジュレーションモードAFMプローブ
コーティング: ダイヤモンド
AFMティップ形状: 標準
AFM カンチレバー
F
105 kHz
C
6.2 N/m
L
225 µm
DT-NCLR

DT-NCLR

ダイヤモンドコート タッピングモードAFMプローブ ロングカンチレバー
コーティング: ダイヤモンド
AFMティップ形状: 標準
AFM カンチレバー
F
210 kHz
C
72 N/m
L
225 µm
産業向けスタンダード製品
NW-DT-NCHR

NW-DT-NCHR

ダイヤモンドコート タッピングモードAFMプローブ
コーティング: ダイヤモンド
AFMティップ形状: 標準
AFM カンチレバー
F
400 kHz
C
80 N/m
L
125 µm
NW-DT-FMR

NW-DT-FMR

ダイヤモンドコート フォースモジュレーションAFMプローブ
コーティング: ダイヤモンド
AFMティップ形状: 標準
AFM カンチレバー
F
105 kHz
C
6.2 N/m
L
225 µm
NW-DT-NCLR

NW-DT-NCLR

ダイヤモンドコート タッピングモードAFMプローブ ロングカンチレバー
コーティング: ダイヤモンド
AFMティップ形状: 標準
AFM カンチレバー
F
210 kHz
C
72 N/m
L
225 µm
コストパフォーマンス
HQ:NSC15/Hard/Al BS

HQ:NSC15/Hard/Al BS

長時間測定、DLCコート タッピングAFMプローブ
コーティング: ハード ダイヤモンドライクカーボン
AFMティップ形状: 反転
AFM カンチレバー
F
325 kHz
C
40 N/m
L
125 µm
HQ:NSC14/Hard/Al BS

HQ:NSC14/Hard/Al BS

長時間測定、DLCコート ソフトタッピングAFMプローブ
コーティング: ハード ダイヤモンドライクカーボン
AFMティップ形状: 反転
AFM カンチレバー
F
160 kHz
C
5 N/m
L
125 µm
HQ:NSC35/Hard/Al BS

HQ:NSC35/Hard/Al BS

長時間測定、DLCコート 3本のカンチレバーが付いたタッピングAFMプローブ
コーティング: ハード ダイヤモンドライクカーボン
AFMティップ形状: 反転
AFM カンチレバー: 3つ
1
2
3
F
205 kHz
300 kHz
150 kHz
C
8.9 N/m
16 N/m
5.4 N/m
L
110 µm
90 µm
130 µm
高コストパフォーマンス
Tap300DLC

Tap300DLC

ダイヤモンドライクカーボンコート タッピングモード用AFMプローブ
コーティング: ハード ダイヤモンドライクカーボン
AFMティップ形状: 反転
AFM カンチレバー
F
300 kHz
C
40 N/m
L
125 µm
Multi75DLC

Multi75DLC

ダイヤモンドライクカーボンコート フォースモジュレーションモードAFMプローブ
コーティング: ハード ダイヤモンドライクカーボン
AFMティップ形状: 反転
AFM カンチレバー
F
75 kHz
C
3 N/m
L
225 µm
高コストパフォーマンス
All-In-One-DD

All-In-One-DD

ダイヤモンドコート導電性AFMプローブ 4本タイプ
コーティング: 導電性ダイヤモンド
AFMティップ形状: 反転
AFM カンチレバー: 4
1
2
3
4
F
19 kHz
110 kHz
200 kHz
450 kHz
C
0.5 N/m
6.5 N/m
18 N/m
100 N/m
L
500 µm
210 µm
150 µm
100 µm
HQ:NSC16/Hard/Al BS

HQ:NSC16/Hard/Al BS

長時間測定、DLCコート ソフトタッピングAFMプローブ
コーティング: ハード ダイヤモンドライクカーボン
AFMティップ形状: 反転
AFM カンチレバー
F
190 kHz
C
45 N/m
L
225 µm
HQ:NSC36/Hard/Al BS

HQ:NSC36/Hard/Al BS

長時間測定、DLCコート 3本のフォースモジュレーションモードカンチレバーを持つAFMプローブ
コーティング: ハード ダイヤモンドライクカーボン
AFMティップ形状: 反転
AFM カンチレバー: 3つ
1
2
3
F
90 kHz
130 kHz
65 kHz
C
1 N/m
2 N/m
0.6 N/m
L
110 µm
90 µm
130 µm
Mix and Match Box

Mix and Match Box

最大400本のMikroMasch AFMプローブのオリジナルセット
コーティング: various
AFMティップ形状: various
HQ:NSC18/Hard/Al BS

HQ:NSC18/Hard/Al BS

長時間測定 DLCコートフォースモジュレーションモードAFMプローブ
コーティング: ハード ダイヤモンドライクカーボン
AFMティップ形状: 反転
AFM カンチレバー
F
75 kHz
C
2.8 N/m
L
225 µm
HQ:XSC11/Hard/Al BS

HQ:XSC11/Hard/Al BS

4本のカンチレバーをもつ長時間測定DLC AFMプローブ
コーティング: ハード ダイヤモンドライクカーボン
AFMティップ形状: 反転
AFM カンチレバー: 4つ
1
2
3
4
F
15 kHz
80 kHz
155 kHz
350 kHz
C
0.2 N/m
2.7 N/m
7 N/m
42 N/m
L
500 µm
210 µm
150 µm
100 µm
Tap150DLC

Tap150DLC

ダイヤモンドライクカーボンコート ソフトタッピングモード用AFMプローブ
コーティング: ハード ダイヤモンドライクカーボン
AFMティップ形状: 反転
AFM カンチレバー
F
150 kHz
C
5 N/m
L
125 µm
Tap190DLC

Tap190DLC

ダイヤモンドライクカーボン タッピングモードAFMプローブ ロングカンチレバー
コーティング: ハード ダイヤモンドライクカーボン
AFMティップ形状: 反転
AFM カンチレバー
F
190 kHz
C
48 N/m
L
225 µm
BudgetComboBox

BudgetComboBox

Mixed Box 50本 BudgetSensors AFMプローブ
コーティング: various
AFMティップ形状: various
4