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Lateral-(xy)-Calibration Standard (2D200)

ラテラルキャリブレーション標準サンプル 200nmピッチ

製品詳細

標準サンプル (2D200) は正確なスキャンメカニズムのXYキャリブレーションにお使いいただけます。このサンプルは、シリコンチップ表面に200nmピッチで反転したピラミッド状の穴を加工してあります。
有効エリアはチップの中央に位置しており、その周囲には有効エリアを見つけやすくするFindMeストラクチャがあります。

シリコンチップは直径12㎜のステンレス円盤に接着されています。このホルダーを磁石固定や機械的にAFMステージに固定してお使いください。

製品はGel-Pak® キャリアに入れて出荷されます。

Gel-Pak® はDelphon Industriesの商標です。

このスタンダードサンプルは、German national authority of standards: PTB (Physikalisch Technische Bundesanstalt)の協力のもと、製作されています。
PTBにより、このサンプルは国際的なガイドラインに沿っていることを証明されています。

ご質問は、5.25 Scanning Probe Metrology ワーキンググループに直接お問い合わせください。
www.ptb.de

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