AFMプローブ  »  
AR10T-NCHR
esd kit

この製品では静電気対策を行うESDキットの使用を推奨しています。ぜひESDキットを追加ご検討ください

NANOSENSORS™ AR10T-NCHR 互換対象 HITACHI SI-DF40H(Aspect 10:1)

AR10T-NCHR

互換対象SI-DF40H(Aspect 10:1)

高アスペクト傾斜補正タッピングモードAFMプローブ

製造メーカー: NANOSENSORS

コーティング: 反射アルミコート
AFMティップ形状: 高アスペクト比
AFM カンチレバー
F 330 kHz
C 42 N/m
L 125 µm
*公称値
アプリケーション
適切なAFMパラメータ設定の目安 gear icon
標準的なアンマウントプローブをパークシステムズのAFMで使用する方法 gear icon

NANOSENSORS™ AR10-NCHR AFM ティップはノンコンタクトモード・タッピングモード用に設計されました。このプローブタイプは高い測定安定性と優れた感度、高速測定機能を併せ持っています。

90度に近い側壁の測定を行うアプリケーション向けにNANOSENSORS™ がティップを特別に設計しました。FIB (Focused Ion Beam)でシリコンティップ先端をアスペクト比10:1を超える角度で削りました。先端を削って高アスペクトの針を作る作業により、高い横方向のスチフネスと硬いティップが作られます。

AR10T はティップ先端1.5 µmがカンチレバーのセンターに対し13度傾斜しています。この傾斜により、AFMに取り付けた際に生じる傾き（一般に13度です）を補正できます。垂直に近い側壁の測定においても対称性良く測定ができます。

ユニークな特長:

  • 高アスペクトティップ部分の長さ > 1.5µm
  • 先端 1.5µmの典型的なアスペクト比 12:1 (カンチレバー方向に沿って横から見たとき)
  • 高アスペクト加工ティップ　カンチレバー面の鉛直方向から13度傾斜
  • 小さい先端曲率
  • モノリシックティップ
  • 静電気の影響を抑える高ドープシリコン
  • 高精度測定を可能にする高いメカニカルQ値

この製品にはホルダーチップの背面にアライメント溝があります

The reflective coating is an approximately 30 nm thick aluminum coating on the detector side of the AFM cantilever which enhances the reflectivity of the laser beam by a factor of about 2.5. Furthermore it prevents light from interfering within the AFM cantilever. As the coating is nearly stress-free the bending of the AFM cantilever due to stress is less than 2 degrees.
AFM ティップ:

    • AFM カンチレバー:
  • ビーム
  • 42 N/m (10 - 130 N/m)*
  • 330 kHz (204 - 497 kHz)*
  • 125 µm (115 - 135 µm)*
  • 30 µm (22.5 - 37.5 µm)*
  • 4 µm ( 3 - 5 µm)*
    • * 保証レンジ

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    AFM ティップについてさらに詳しく
    AFM カンチレバーについてさらに詳しく
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