ARROW-FM-Iridium

日立ハイテクSI-DF3-R 導電性AFMプローブの代替品

NanoWorld® Arrow FM Iridium™ は、探針先端およびレーザー反射面（検出面）の両方にイリジウムコーティングを施したシリコン製の光てこ方式AFMプローブです。ナノスケールの電気特性測定向けに特別に開発され、日立ハイテクSI-DF3-R 導電性AFMプローブとしてご使用いただけます。

NanoWorld® で実績のある Arrow FM プラットフォームをベースとしており、世界中の研究者からナノ電気計測用AFMプローブとして高い信頼を得てきたプローブ形状をそのまま継承しています。さらに、AFM探針側と、カンチレバーのレーザー反射面（検出面）の両方に耐久性の高いイリジウムコーティングを施すことで、優れた電気伝導性、鋭い探針先端形状、長寿命、そしてNanoWorld AFMプローブならではの高い製造品質を実現しています。

Arrow FM Iridium は、以下をはじめとする幅広いナノ電気計測AFM技術に最適化されています。

• 導電性原子間力顕微鏡（Conductive Atomic Force Microscopy：c-AFM）
• 電気力顕微鏡（Electric Force Microscopy：EFM）
• ケルビンプローブ力顕微鏡（Kelvin Probe Force Microscopy：KPFM）
• 走査容量顕微鏡（Scanning Capacitance Microscopy：SCM）
• 走査拡がり抵抗顕微鏡（Scanning Spreading Resistance Microscopy：SSRM）

これらをはじめ、高い電気伝導性と優れた空間分解能の両方が求められる各種電気特性評価アプリケーションに適しています。

アプリケーション例:

• コンダクティブAFM（Conductive AFM：c-AFM）
• 電気力顕微鏡（Electric Force Microscopy：EFM）
• ケルビンプローブ顕微鏡（Kelvin Probe Force Microscopy：KPFM / SKPFM）
• 走査容量顕微鏡（Scanning Capacitance Microscopy：SCM）
• 走査拡がり抵抗顕微鏡（Scanning Spreading Resistance Microscopy：SSRM）
• 半導体デバイスの特性評価
• 二次元材料（2D材料）の電気特性評価
• 強誘電体材料の評価
• 電池・エネルギー材料の評価
• ナノエレクトロニクス分野
• 電気的な故障解析（Electrical Failure Analysis）

主な特長

• 日立ハイテクSI-DF3-R 導電性AFMプローブの直接代替品
• NanoWorld®で実績のある Arrow FM プラットフォームを採用
• AFM探針先端およびレーザー反射面（検出面）の両方に耐久性の高いイリジウムコーティングを採用
• 優れた電気伝導性
• 鋭い探針先端と長いライフタイム