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TGXYZ01
30,000 円
12mm径金属円盤にマウント済み
TGXYZ01/NM
30,000 円
マウント無し
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TGXYZ01

XYZキャリブレーショングレーティング  ステップ高さ20nm   ピッチ5µm 、10µm

製品詳細

キャリブレーショングレーティングTGXYZシリーズは、SiウェハにSiO2 のステップアレイを加工したものです。Siの中心部分、500 µm角の範囲に、円柱と円形穴、5μmピッチのX方向、Y方向のラインが刻まれています。1mm角の大きな四角形エリアには角柱と四角形穴が10μmピッチで作られています。

ステップ高さはグレーティング全体で計算されています。実際のステップ高さhは、測定箇所によってはノミナル値と異なる場合があります。
  • ステップ高さ20 nm 誤差 2%
  • アレイピッチ 5 、10 µm 誤差 0.1 µm
  • 有効範囲 1 x 1 mm
  • チップサイズ 5 x 5 x 0.3 mm
  • 12 mm 金属円盤マウントタイプ (TGXYZ02)と マウント無し (TGXYZ02/NM)があります
  • 同じグレーティングで、ステップ高さ 100 nm (TGXYZ02) と 500 nm (TGXYZ03) もございます

アプリケーション

TGXYZ キャリブレーショングレーティングはSPMスキャナのXY方向及びZ方向のキャリブレーションを行うためのものです。
Z方向の非線形を補正するには、異なるノミナルステップ高さを持つサンプルを使用する必要があります。
TGXYZ キャリブレーショングレーティングの正確な定量計測には、Image Metrology社のScanning Probe Image Processor (SPIP)をお使いいただけます。
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