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TGX
30,000 円
12mm径金属円盤にマウント済み
TGX/NM
30,000 円
マウント無し
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TGX

ラテラルキャリブレーション、ティップアスペクト比評価用グレーティング

製品詳細

シリコンキャリブレーショングレーティングTGXシリーズは、シリコン基板の(111)面に沿って異方性エッチングで鋭いエッジを持つ四角形穴のアレイを加工してあります。 
エッジの曲率半径は5nm以下(典型値)です。

  • ピッチ 3 µm 誤差 0.1 µm
  • エッジ曲率半径 < 5 nm
  • ステップ高さ  約1 µm (垂直方向のキャリブレーションの目的にはお使いいただけませんのでご注意ください)
  • 有効範囲 1 x 1 mm
  • チップサイズ 5 x 5 x 0.3 mm
  • 12 mm プレートにマウント済み (TGX)  マウント無し (TGX/NM)

アプリケーション

TGXキャリブレーショングレーティングは下記の目的でお使いいただけます: 

  • ティップアスペクト比の評価
  • SPMスキャナの水平面方向 キャリブレーション
  • ラテラル方向の非線形性、ヒステリシス、クリープ、クロスカップリングの影響の測定


TGX キャリブレーショングレーティングの正確な定量計測には、Image Metrology社のScanning Probe Image Processor (SPIP)のご使用をお勧めします。

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