TGX

ラテラルキャリブレーション、ティップアスペクト比評価用グレーティング

シリコンキャリブレーショングレーティングTGXシリーズは、シリコン基板の(111)面に沿って異方性エッチングで鋭いエッジを持つ四角形穴のアレイを加工してあります。

エッジの曲率半径は５nm以下（典型値）です。

• ピッチ 3µm　誤差 0.1µm
• エッジ曲率半径 <5nm
• ステップ高さ 　約1µm (垂直方向のキャリブレーションの目的にはお使いいただけませんのでご注意ください)
• 有効範囲 1x1mm
• チップサイズ 5x5x0.3mm
• 12mm プレートにマウント済み (TGX) 　マウント無し (TGX/NM)

アプリケーション

TGXキャリブレーショングレーティングは下記の目的でお使いいただけます: 

• ティップアスペクト比の評価
• SPMスキャナの水平面方向　キャリブレーション
• ラテラル方向の非線形性、ヒステリシス、クリープ、クロスカップリングの影響の測定

TGX キャリブレーショングレーティングの正確な定量計測には、Image Metrology社のScanning Probe Image Processor (SPIP)のご使用をお勧めします。