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UVオゾンクリーナー

表面洗浄や表面改質により、表面を親水化します。測定前のカンチレバーの洗浄、探針修飾の効率化、サンプル基板の洗浄などにご使用いただけます。

製品詳細
大気中の酸素に紫外線(185nm)を照射すると、オゾン(O3)が生成されます。さらに紫外線(波長254nm)がオゾンを分解し励起状態の活性酸素を生成します。活性酸素は、紫外線によって分解されたコンタミと結合し、二酸化炭素や水などの揮発性物質と反応して表面から取り除かれます。
また、基板表面の分子は、紫外線により分子鎖が切断されます。これらの分子は、活性酸素と反応して、表面に新たな官能基(OH、CHO、COOHなど)を形成します。この官能基は親水性が高く、分子修飾やサンプル基板コーティング特性を改善・向上させます。

測定前のカンチレバーの洗浄、探針修飾の効率化、サンプル基板の洗浄などにご使用いただけます。
※カンチレバーのコーティングによってはコーティングがダメージを受ける場合があります。


[特長]
大気中での処理を行うドライプロセス 
真空チャンバーやポンプなどの真空設備不要 
化学薬品不要
高性能かつ低価格
有効照射エリア100mm角
高出力・長寿命な低圧水銀ランプ採用


[仕様]

型式     UVS401Y-02
使用ランプ 低圧水銀ランプ
ランプワット数 40W
ランプサイズ 100×100mm
外形寸法 W200×D356×H265mm
照射距離 10~50mm 10mm単位で調整可能
有効照射エリア 50×50mm
照射時間    0.1秒-999時間
試料台サイズ 100×100mm
重量 約5kg
入力電圧 AC100V
安全装置 インターロック機能付き 扉を開くとランプ自動消灯
ランプ切れ検知
オゾン排気用ファン付属
オゾン分解ユニット
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