XYZキャリブレーションナノグリッド; 500nm ピッチ 高さ20nm
なぜXYZキャリブレーションナノグリッド？
測定能力を最大限に活用するために、AFMシステムは適切に較正される必要があります。校正基準がより正確であればあるほど、より正確なAFM測定結果を達成することができます。ナノグリッド校正サンプルが正確なAFMシステム校正を可能にします。
ソリューション:
CS-20NG は、ナノメートルレベルまでのキャリブレーションを可能にする高精度なXYZキャリブレーションナノグリッドです。 5x5mmシリコンチップ上に二酸化シリコン構造アレイを備えています。安定した製造プロセスにより、チップ全体のキャリブレーション構造物の優れた均一性が保証されています。簡単で信頼性の高いX、Y、Z軸のキャリブレーションが可能です。
キャリブレーションエリアはチップ中央ですので、AFMの光学システムで簡単に見つけることができます。
段差構造は20nmで、各チップの正確な値は箱のラベルに表示されています。形状とピッチが異なる構造のアレイが1チップに配置されています。大きな正方形（1×1mm）には、10μmピッチの正方形の柱と穴があります。
中間サイズの正方形には、5μmピッチの円形の柱と穴、およびX方向とY方向のラインがあります。
小さな正方形には、500nmピッチの円形の穴があります。
CS-20NGは、XY方向のAFMスキャナー校正に適しています。対称構造により、X軸とY軸の間でサンプルを回転させることなく、AFMシステムを1ステップでキャリブレーションすることができます。
CS-20NGチップは、高品質の導電性エポキシ樹脂で12mmの金属ディスクに接着されており、すぐにお使いいただける状態で出荷されます。バリエーションとしてアンマウント（CS-20NG-UM）もございます。
テクニカルデータ:
円形穴と円柱 10µm ピッチ ： 1x1mm スクエアの位置
円柱と円形穴、ラインXY方向 5µmピッチ ： 500x500µm スクエアの位置
円形穴500nm ピッチ ： 100x100µm スクエアの位置
