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HS-100MG
29,500 円 25,000 円
12mm径金属円盤にマウント済み
HS-100MG-UM
29,500 円 25,000 円
マウント無し
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HS-100MG

高さスタンダードサンプル 100 nm

製品詳細

課題:

原子間力顕微鏡は、ナノメートル、マイクロメートルスケールで、可視化するためだけではなく、正確な計測を行うためのツールとなりました。それらの測定能力を最大限に発揮するには、AFMシステムを適切に較正する必要があります。

ソリューション:

HS-100MGBudgetSensors が提供する高さキャリブレーションサンプルです。近年増えている増えている低価格かつ高品質というご要望にお応えしています。

HS-100MG は5x5mmシリコンチップ上に製作した酸化シリコンストラクチャアレイです。優れた製造プロセスにより、チップ全体の構造の均一性を保証します。 これにより、簡単で信頼性の高いZ軸キャリブレーションが可能になります。

キャリブレーションエリアはチップ中央ですので、AFMの光学システムで簡単に見つけることができます。

段差構造は100nmで、各チップの正確な値は箱のラベルに表示されています。

大きな正方形(1×1 mm)には、10 μmピッチの正方形の柱と穴があります。小さいサイズの正方形(500x500µm)には、5μmピッチの円形の柱と穴、およびX方向とY方向のラインがあります。

比較的大きなスキャナ(40-100µm レンジ)のX軸Y軸のキャリブレーションに適しています。(Z軸については別サンプルをご準備ください)対称構造により、X軸とY軸の間でサンプルを回転させることなく、AFMシステムをキャリブレーションすることができます。

HS-100MG チップは高品質の導電性エポキシ樹脂で12 mmの金属ディスクに接着されており、すぐにお使いいただける状態で出荷されます。バリエーションとしてアンマウント(HS-100MG-UM).もございます

 

テクニカルデータ:

外寸: 5x5mm

ステップ高さ: ~100nm (正確な値はボックスのラベルをご覧下さい)

ストラクチャの形状:

  • 四角形の穴と突起 10µm ピッチ 1x1mmスクエアの位置
  • 円柱と円形穴、ラインXY方向 5µmピッチ : 500x500µm スクエアの位置

 

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