高さスタンダードサンプル20nm
課題:
原子間力顕微鏡は、ナノメートル、マイクロメートルスケールでサンプル表面を可視化するためだけではなく、正確な計測を行うためのツールとなりました。それらの測定能力を最大限に発揮するには、AFMシステムを適切に較正する必要があります。
ソリューション:
HS-20MGはBudgetSensors が提供する高さキャリブレーションサンプルです。近年増えている増えている低価格かつ高品質というご要望にお応えしています。
HS-20MG は5x5mmシリコンチップ上に製作した酸化シリコンストラクチャアレイです。優れた製造プロセスにより、チップ全体の構造の均一性を保証します。 これにより、簡単で信頼性の高いZ軸キャリブレーションが可能になります。
キャリブレーションエリアはチップ中央ですので、AFMの光学システムで簡単に見つけることができます。
段差構造は20nmで、各チップの正確な値は箱のラベルに表示されています。形状とピッチが異なる構造のアレイが1チップに配置されています。
異なる形状とピッチの構造物がチップ上に作られています。大きな正方形（1×1mm）には、10μmピッチの正方形の柱と穴があります。小さいサイズの正方形(500x500µm)には、5μmピッチの円形の柱と穴、およびX方向とY方向のラインがあります。
比較的大きなスキャナ(40-100µm レンジ)のX軸Y軸のキャリブレーションに適しています。対称構造により、X軸とY軸の間でサンプルを回転させることなく、AFMシステムをキャリブレーションすることができます。
HS-20MG チップは高品質の導電性エポキシ樹脂で12mmの金属ディスクに接着されており、すぐにお使いいただける状態で出荷されます。バリエーションとしてアンマウント(HS-20MG-UM).もございます
テクニカルデータ:
外寸: 5x5mm
ステップ高さ: ~20nm （正確な値はボックスのラベルをご覧下さい)
ストラクチャの形状:
