製品 » KPFM & EFM サンプル

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KPFM-EFM-Sample
59,000 円
15mm径金属円盤にマウント済み
KPFM-EFM-Sample-UM
59,000 円
マウント無し
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KPFM & EFM サンプル

KPFM , EFM テスト用アルミ、金ラインアレイサンプル

製品詳細

KPFM 、EFM テスト用サンプルの特長:

  • 酸化シリコン基板上にアルミと金のラインを交互に配置
  • ラインアレイピッチ4, 8, 20 ,40μm
  • ライン高さ 約35nm
  • チップは15㎜のガラスディスクと金属円盤にマウントされています
  • アルミと金のコンタクトパッドから配線引き出し済み
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