日立ハイテクAFMプローブ

日立ハイテク製走査型プローブ顕微鏡

日立ハイテク（旧SIIテクノロジーズ）のSPM（走査型プローブ顕微鏡）は、1980年代後半にSTMから開発が始まり、その後AFMや多機能SPMへと発展しました。

まず、１９８０年代後半に国産初のSTM商用化を実現しました。続いて1990年代には、国産初のAFM商用化を達成し、高性能化を進めながら汎用タイプのSPMへと展開。観察機能の多様化や操作性が向上しました。また、環境制御型SPMの開発によって、特殊環境下での測定にも対応するようになりました。

さらに、カンチレバーをバキューム吸着する機能を備えた大型試料に対応した大型ステージ機、省スペースでかつ革新的な自己検知カンチレバーを採用した扱いやすい簡易型SPM、スタンドアロン型装置など、市場のニーズに応じた製品群を拡充しました。日立ハイテク社は、プローブ顕微鏡を、より一般的な表面分析手法として定着させユーザー層の拡大に大きく貢献しました。

2000年代以降は、高性能化と操作性向上を進めながら、近年では光熱励振機能を搭載したSPMシリーズも発表しています。

日立ハイテク製SPMは、2026年9月30日に生産終了予定、プローブの販売は生産終了日から7年間、消耗品販売、保守、サポートが継続されることが告知されました。

日立ハイテクSPMで使用するプローブ

日立ハイテク製SPMにおいては、コンタクトモードがSPMの基礎となる測定モードであることからコンタクトモードをコンタクトAFM（もしくは単にAFM）と呼んでいます。コンタクトAFM用マイクロカンチレバーとして窒化シリコン製カンチレバーSN-AF01とシリコン製カンチレバーSI-AF01を標準推奨品として紹介されています。

また、日立ハイテク製ＳＰＭにおいてはＡＣモードをダイナミック・フォース・モード（DFM）と呼んでいます。基本的な動作原理はＡＣモードやタッピングモードと同じです。SI-DF40, SI-DF20, SI-DF3を標準的なカンチレバーとして紹介されています。

通常のクリップ固定方式のカンチレバーホルダをお使いでしたら、どのプローブでもお使いいただけます。もしバキューム吸着方式のカンチレバーホルダをお使いの場合は、プローブのサポートチップ部分にアライメント溝のないタイプのプローブが必要となります。

主な日立ハイテク製プローブと置き換えることができるプローブをまとめてございます。

一覧にないプローブの代替品や、その他選定についてご不明のことがございましたら営業担当までご相談ください。